实现Micro LED的巨量转移功能,支持间接转移、直接转移功能,具备裸片自动上下料、晶圆自动校准。
该设备不仅可以保证激光巨量转移过程中不对芯片造成损伤,而且还保证Micro-LED转移落点精准并可按照需求设置转移后Micro LED芯片阵列排布,并可以结合AOI&PL机台mapping图,高速准确选择性转移ok片。 加工良率高、效率高,支持全自动三色上下料。
实现Micro LED的巨量转移功能,支持间接转移、直接转移功能,具备裸片自动上下料、晶圆自动校准。
该设备不仅可以保证激光巨量转移过程中不对芯片造成损伤,而且还保证Micro-LED转移落点精准并可按照需求设置转移后Micro LED芯片阵列排布,并可以结合AOI&PL机台mapping图,高速准确选择性转移ok片。 加工良率高、效率高,支持全自动三色上下料。
Micro LED显示是继LCD和OLED之后新一代显示技术,具有较好的技术优势以及广泛应用潜力。目前制约Micro LED技术开发进度的核心难点之一在于Micro LED芯片的巨量转移,Micro LED激光巨量转移设备着力于采用激光转移技术,解决此核心制程中的难点,最终实现芯片的快速、高良率转移制程。
助力推动我国Micro LED显示产业关键核心技术的瓶颈突破,解决行业内关键设备转移精度低,转效率不足,修复良率低以及工艺技术缺乏等制约产业化的问题,开发MicroLED先进技术产品,促进MicroLED上下游产业链补全补强,加快MicroLED显示产业快速实现产业化。
设备具备1μm精度级别的运动平台,实现4-8寸范围内转移精度±1μm, 实现36kk颗/小时转移效率,实现转移良率>99.9%。