55. Femto-600-100W 工业级飞秒激光器
申报企业/单位:武汉华日精密激光股份有限公司
新技术
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产品简介

Femto 600-100W 系列飞秒激光器是由 Huaray 自主研发生产的,稳定、可靠的飞秒光纤激光器产品,也是国家重点研发计划专项的研发成果。激光器采用光、电一体化设计,在100 kHz的重复频率下实现了单脉冲能量600 μJ,同时脉冲宽度小于500 fs,并可根据用户需求实现<500 fs 10 ps可选或可调。该产品可广泛应用于高分子材料加工与处理、高反射金属加工、陶瓷与聚合物加工、半导体晶圆加工、新能源材料加工、合金材料加工、透明材料焊接及科研市场等领域。

飞秒光纤激光器具备平均功率高、宽增益光谱和高光束质量的输出优势,因此飞秒光纤激光器广泛应用于高分子材料加工与处理、高反射金属加工、陶瓷与聚合物加工、半导体晶圆加工、新能源材料加工等领域。由于在光纤介质中的非线性相位积累会带来脉冲质量恶化,目前国内市场上的飞秒光纤激光器的单脉冲能量主要维持在200微焦量级;与此同时,武汉华日激光飞秒产品线已经开始量产单脉冲能量400微焦的 Femto-400-60 光纤激光器。随着新设计方案的实施,华日激光推出本款支持单脉冲能量600微焦和最大功率100W的飞秒光纤激光器。

产品优势

该产品具备以下特点:

1、高单脉冲能量,单脉冲能量 >600 μJ @100kHz

2、脉冲可编辑,支持POD功能,脉冲串模式下支持脉冲串能量1mJ输出;

2、平均输出功率>100W @1MHz 输出,峰值功率 >1 GW

3、窄脉宽  ,脉冲宽度<500 fs,并可实现<300 fs 10 ps可选或可调;

4、高光束质量,M²<1.2

5、 高稳定性,工业需求设计,激光器稳定可靠,适应7*24h工作环境;

脉冲宽度典型图:


近场光斑典型图:光斑圆度=92.7%;光束直径=3.358mm



光束质量典型图:


产品参数/型号

型号

Femto-600-100W

中心波长

1035 ±5 nm

输出功率

>100 W@1MHz

脉冲能量

单脉冲:600 μJ @100kHz

脉冲串:1mJ

脉冲宽度

<500 fs

重复频率

1 Hz to 1MHz

光束质量

TEM00(M2<1.3)

偏振比

>100:1

光束圆度

>85%

光束直径

3±1 mm