激光加工专业委员会

光束快速偏转技术是激光雷达、激光直写、半导体加工及检测设备、激光加工设备关键技术之一。振镜是常见的光束偏转技术，激光振镜具备使用光束大、扫描角度大等特点，但是振镜存在偏转速度慢、惯性大、转角精度不高等缺点。在使用振镜的激光钻孔设备上，由于振镜的这些缺点，存在钻孔效率低、钻孔精度不高等问题，随着5G及新能源等行业对线路板钻孔尤其钻盲孔的需求越来越高，传统的基于振镜的激光钻孔设备越来越不能满足使用需求。

国外厂家开发了基于声光偏转器（Acousto Optic Deflectors,AODs）的钻孔设备。AODs功能通俗一点讲，可以把发射出来的激光比喻成一辆行驶中的车，在过弯道时速度不减，配备AODs的设备在做小孔径的孔时，但可以保证速度不变，真圆度等钻孔品质也会有很大提升，此外AODs还能精确控制激光能量并提升加工精度。采用AODs的激光钻孔设备在钻孔特别是加工盲孔时，与同类设备相比，其速度能提升近2倍。

针对激光钻孔行业应用，脉博光电开发了波长为355nm、带宽为30MHz的声光偏转器：DF2002-QL170_030-070-355，具有高达*mm通光空间，*mrad的扫描角度，配套开发的AODs驱动器具备扫频、跳频、独立调控相位、加载图形速度快等功能，能够满足激光钻孔设备的应用，为国内激光钻孔设备厂家升级换代设备提供了可靠的器件保障及技术支持。

脉博光电开发了一系列的声光偏转器AODs，除了应用于线路板钻孔外，还可广泛应用于生物显微成像、激光直写、光镊、细胞分选、半导体检测等领域。

高稳定性设计

快速扫描速度

大通光孔径

高损伤阈值

1. SPECIFICATIONS（规格）
Interaction material（介质材料）	Crystal quartz（石英）
Acoustic mode（声波模式）	Longitudinal（纵波）
Operating wavelength（工作波长）	355nm
Polarization（光偏振）	Linear, perpendicular to base（线偏振，垂直于基座）
Transmission（透过率）	＞ 99%
Active aperture（有效孔径）	7.0mm
Center frequency (Fc)（中心频率）	170MHz
RF bandwidth (RB)（射频带宽）	30MHz
Diffraction efficiency（衍射效率）@RB	＞ 80%
RF power（射频功率）	22 W (max)
Input Impedance（输入阻抗）	50Ω Nominal
VSWR（驻波比）@Fc	< 2.1:1
RF connector（射频接头）	SMA-F
Cooling（散热方式）	Water-cooling（水冷散热）
Shell material（外壳材料）	Aluminum alloy 6063（铝6063）
Water cooling channel material（水冷块材料）	Stainless steel 316（不锈钢316）

2. PERFORMANCE vs. WAVELENGTH （性能 vs. 波长）
Wavelength（光波长）	355nm
Bragg angle（布拉格角）@Fc	5.3mrad
Separation angle（分离角）@Fc	10.5mrad
Scan angle（扫描角度）@RB	1.9mrad

5. 声光偏转器 AODs