近期,中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心实验室,在激光近无应力烧蚀理论及工艺研究中取得新进展。该研究首次揭示了激光烧蚀过程中加工形貌和残余热应力的分布行为及演变规律。相关研究成果以Theoretical and experimental investigations in thermo-mechanical properties of fused silica with pulsed CO2 laser ablation为题,发表在《光学快报》(Optics Express)上。