非线性光学晶体在光刻、通信、微加工、激光显示等激光科技领域具有重要应用。相位匹配是非线性光学晶体实现高效转换的必要条件,传统的非线性光学晶体通常基于双折射原理实现相位匹配。然而在波长小于200纳米的深紫外波段,大量非线性光学晶体由于过小的双折射率而难以实现双折射相位匹配。准相位匹配技术通过在晶体中构建非线性系数周期反转的结构,使能量不断由基频光流向倍频光,从而实现倍频光的高效输出。与双折射相位匹配相比,该技术具有不依赖材料双折射率、匹配波段宽、可以利用材料的最大非线性系数等优点。然而,目前适用于深紫外波段准相位匹配输出的非线性光学晶体仍然非常稀少。